上海至纯洁净系统科技股份有限公司：以'关注核心工艺,服务关键制程'为…、整机系统与场景应用专精特新企业档案

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（603690.SH）产业链深度研报

一、企业速览

企业基础信息：公司名称：上海至纯洁净系统科技股份有限公司；地区：上海市闵行区；行业：泛半导体工艺废气治理（节能环保与资源循环）；成立时间：2000-11-13；注册资本：38296.425万元；员工规模：51人；专利数量：324件；认定批次：2025年 第七批 国家级专精特新“小巨人”；上市状态：已上市（2017年1月，603690.SH）。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”）是一家以高纯工艺系统和湿法工艺设备为核心，服务于集成电路、泛半导体及生物制药行业的设备及系统解决方案提供商。其在产业链中的位置是“整机系统与场景应用”，即作为系统集成商，将上游的核心零部件、材料集成为满足下游客户特定工艺场景需求的成套设备或系统。

二、主营产品与产业链定位

至纯科技的主营业务可拆解为两大板块：高纯工艺系统和半导体湿法工艺设备。

1. 高纯工艺系统：这是公司的传统优势业务。具体指为芯片制造、平板显示等泛半导体生产线提供高纯化学品供应系统、高纯气体供应系统、研磨液供应系统等。其核心是确保在工艺过程中，液体和气体的纯度达到ppb（十亿分之一）甚至ppt（万亿分之一）级别，避免杂质污染晶圆导致良率下降。

2. 半导体湿法工艺设备：这是公司近年来重点突破的方向。湿法工艺是半导体制造中的核心环节，用于晶圆表面的清洗、蚀刻、去胶等。至纯科技的产品线涵盖单片式和槽式湿法清洗设备，并已成功切入28nm及以下制程。

产业链定位分析：

在“节能环保与资源循环”的大链条下，“整机系统与场景应用”环节意味着：

• 上游：需要采购各类核心零部件（如高纯阀门、管件、泵、流量计、传感器、射频电源、机械手等），以及关键材料（如高纯石英、特氟龙等耐腐蚀材料）。（行业共识） 典型的上游供应商包括：进口品牌如Swagelok（阀门）、Parker Hannifin（管件）、Ebara（泵），国产品牌如新莱应材（高纯管阀）、万业企业（部分零部件）等。
• 下游：直接面向场景应用的客户。在半导体领域，客户为晶圆代工厂（如中芯国际、华虹半导体）、IDM企业（如士兰微、华润微）以及存储芯片制造商（如长鑫存储、长江存储）。在生物制药领域，客户为制药企业和合成生物学公司。
• 与其他环节的关系：它不直接生产高纯化学品或原材料，而是整合这些物料和硬件，形成一套完整的、可复制的、满足特定工艺要求的系统解决方案。其价值在于对工艺的深度理解和系统的集成能力。例如，一个高纯化学品供应系统，需要根据客户的工艺菜单，设计管道走向、流量控制、废液回收方案，并集成各类监测仪表，最终完成安装调试和验证交付。

三、核心工序与技术依赖

对于至纯科技这类企业，其核心工序并非传统制造环节，而是高度依赖于系统集成、软件控制和工艺验证。

关键工序（行业共识）：

1. 系统方案设计与仿真：根据客户提供的工艺流程图（P&ID）和工艺参数，进行系统架构设计、流体动力学仿真（CFD）、热力学模拟，确保系统在流量、压力、温度、纯度等方面满足设计规范。典型参数涉及：流体传输精度（±1%以内）、最高工作压力（如1.0MPa）、温度控制范围（20-150℃）。

2. 关键零部件选型与采购：对阀门、泵、过滤器等核心部件进行严格筛选和测试。例如，高纯工艺系统的阀门必须满足“低颗粒脱落”和“低金属离子析出”的要求，通常需要经过供应商的粒子计数检测报告。

3. 模块化制造与集成：在自有工厂内，将零部件集成为标准化的功能模块（如化学品分配模块、气体分配模块）。这个过程包括精密焊接（轨道自动焊，要求焊接内壁光滑无死角）、管道酸洗钝化、以及模块内部的气密性测试（氦检漏，泄漏率要求如1x10^-9 Pa·m<sup>3</sub>/s）。

4. 过程控制系统（PCS）开发与调试：编写控制程序（PLC/DCS），实现对系统的自动化控制和数据采集（SCADA）。控制逻辑需要与上游的工艺设备（如光刻机、刻蚀机）进行信号交互，确保供应与需求的精确匹配。

5. 现场安装、验证与服务：在客户洁净室内进行系统安装、二次配管、通电调试。最终需通过客户的工艺验证（如设备对晶圆清洗后的颗粒数测试、金属污染测试），才能获得量产跑片的许可。这是进入客户供应链的最后一道关卡。

上游关键原材料和设备来源（行业共识）：

至纯科技的定位：基于其324件专利和主营记录，其技术积累主要在系统集成和特定工艺设备的自主研发上。例如，其湿法清洗设备专利可能集中在药液循环系统、兆声波清洗技术、槽体设计等方面。它更像一个高效的系统级技术整合者，而非基础材料或零部件的制造商。其51人的员工规模，可能对应一个高度精干的研发和项目管理团队，而大量制造、安装工作可能依赖外协或分包。

四、竞争格局

在中国半导体设备及系统市场中，至纯科技面临多维度的竞争。

主要竞争对手（行业共识）：

竞争维度分析：

全国同一产业链位置（整机系统与场景应用）的企业高达5215家，这说明该环节进入门槛相对较低，尤其是高纯工艺系统领域。竞争主要集中在以下几个维度：

• 技术性能：能否满足更先进制程（如14nm、7nm）对颗粒、金属污染、流量精度等指标的严苛要求。
• 客户关系与验证周期：半导体客户验证周期极长，从送样到量产验证通常需要6-24个月（行业共识）。一旦进入供应链，由于工艺的稳定性和信任成本，切换供应商的代价极高，形成较强客户壁垒。
• 本地化服务与响应速度：设备出现故障时，能否在1-2小时内赶到现场维修，是下游Fab厂非常看重的。
• 成本与价格：在成熟制程领域，成本竞争日益激烈。

专利维度：至纯科技324件专利，远超行业中位数89件，位列行业前列。这不仅是技术储备的体现，也构成了其对外合作和市场竞争中的重要砝码。尤其是在湿法清洗设备等需要大量工艺Know-how的领域，专利数量直接反映了其技术深度。

五、护城河判断

基于现有数据，至纯科技的护城河分析如下：

• 技术壁垒：中等偏高。 324件专利是其重要的技术资产。虽然专利总量高，但其价值高低需要看专利被引次数、是否有核心工艺专利（如兆声波、先进喷嘴设计、药液循环方法）。从主营判断，其专利主要覆盖高纯系统集成和湿法清洗设备的结构、方法及控制系统。在12英寸、28nm及以下制程湿法设备领域的突破，表明其具备一定的“硬科技”属性，构成了技术壁垒。
• 客户壁垒：高。 这是该赛道最核心的壁垒。公司已上市，有公开的客户信披材料（未在数据中提供，但可作为常识判断），大概率已进入中芯国际、华虹、长存等国内头部晶圆厂的供应链。一旦进入量产验证，设备和系统的运行数据、与FAB厂内部MES系统的对接、长期的备件和服务合同，都使得客户粘性极强，替换成本极高。
• 规模壁垒：中等偏弱。 51人的员工规模是一个关键数据。在中国半导体设备行业中，50人通常对应一个中等规模的研发或项目团队。对于一个上市公司，这个规模可能意味着其核心业务模式是“小总部、大外包/合作伙伴”，即自身掌握研发设计和项目管理，将生产、安装部分外包。这在控制成本和保持轻资产运营上有优势，但同时也意味着交付能力和售后服务规模化扩张能力可能存在瓶颈。与北方华创、盛美上海等动辄千人以上的团队相比，其规模效应不足。
• 认定价值：信号意义强。 2025年第七批国家级专精特新“小巨人”认定，在当前的产业政策背景下，具有双重含义：一是官方对其在专业化、精细化、特色化、新颖化方面成果的背书，尤其有利于其在政府项目投标和争取研发补贴；二是在当前强调产业链自主可控的背景下，该认定能增加下游客户（特别是国企、央企背景的晶圆厂）的采购信任度。

六、风险与机会

行业风险：

1. 下游资本开支波动风险：半导体行业的“硅周期”特性决定了晶圆厂资本开支的剧烈波动。2023-2024年全球半导体设备市场经历了调整期，下游扩产放缓直接影响新设备订单。国内虽然处于逆周期投资阶段，但若宏观经济或地缘政治导致国内客户缩减开支，公司面临订单下滑风险。

2. 技术迭代风险：随着制程微缩到3nm及以下，对湿法清洗技术的要求发生根本性变化。例如，新型光刻胶和工艺对清洗方案提出新挑战，若公司无法跟上技术代际更新，可能被竞争对手拉开差距。中东局势对氦气等特种气体供应的影响，也间接考验其系统设计的适应性和供应链韧性。

公司风险：

1. 员工规模与业务量不匹配的风险：作为一家上市公司，主营半导体核心设备，51人的员工数显得异常。这可能意味着大量人员属于关联公司、外协或子公司，但核心团队的精干也可能成为其产能瓶颈。一旦订单激增，51人团队能否同时管理多个大型项目的现场实施、调试、验证？其交付能力的上限在哪里？ 这是投资人在财报和2024年报中需要高度关注的点。

2. 资本结构压力：注册资本和实缴资本高达3.83亿元，表明公司曾经历较大规模的资本运作或增资。作为上市公司，其股本结构、负债率（未披露）需要通过其2024年年报或2025年一季报进行详细分析。如果资本消耗过快或存在较大债务压力，会影响其后续研发和扩产投入。

机会窗口：

1. 国内半导体产业链“国产替代”深化：当前政策导向明确，国内晶圆厂在面临外部设备出口限制的情况下，加大对国产设备的采购验证力度。至纯科技作为国内湿法设备的高可靠性替代方案之一，在这一轮国产替代浪潮中，有望获得更多进入头部客户先进制程产线的机会。其28nm及以下制程设备的突破，正好切中这一痛点。

2. 生物制药与合成生物新赛道：公司简介中专门提及生物反应、发酵系统等业务。随着合成生物学和基因治疗领域的蓬勃发展，对一次性、高洁净度、智能化生物反应系统的需求正在快速崛起。这个市场目前主要由国外供应商（如赛默飞、Sartorius）主导，国产替代空间巨大。至纯科技在高纯流体、洁净系统集成方面的技术积累，完全可迁移至该领域，形成第二增长曲线。