深圳市恒运昌真空技术有限公司

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司成立于2013年3月，董事长为乐卫平，公司于2026年1月在上海证券交易所科创板上市，股票代码688785.SH。公司专注于集成电路设备核心零部件的研发与生产，主要产品包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、气体流体精密控制设备以及真空获得与计量零部件。这些产品已批量供应国内主要半导体设备制造商和晶圆厂。公司总部位于深圳市宝安区，已通过ISO9001和ISO14001体系认证。 恒运昌（688785.SH）近年来获得国家级专精特新“小巨人”企业、国家级高新技术企业、省级制造业单项冠军企业等荣誉。在电源设备领域的技术优势突出，长期成长空间广阔，核心技术的稀缺性为其提供了高估值支撑。公司持续加大研发投入力度，提高技术指标要求，推进新产品开发，不断加强产品竞争力。 近期，公司新一代射频电源系统Cedar系列已进入样机验证阶段，该产品整合了射频电源和匹配器，可支持更先进制程并提升工艺参数。公司持续扩大产业布局，沈阳项目正从试产转向投产，同时推进德国子公司的全球化运营。尽管面临行业周期波动，但公司仍看好市场前景，通过增加研发投入和优化供应链体系来应对挑战。

半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造；机械电气设备制造；货物进出口；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；机械电气设备销售；泵及真空设备销售；工业自动控制系统装置销售；电力电子元器件销售；电子测量仪器销售；成品油批发（不含危险化学品）；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；技术进出口；机械零件、零部件销售；实验分析仪器销售；气体、液体分离及纯净设备销售；密封件销售；阀门和旋塞销售；仪器仪表销售；电子元器件零售；仪器仪表修理；通用设备修理；专用设备修理；泵及真空设备制造；工业自动控制系统装置制造；通用零部件制造；输配电及控制设备制造；实验分析仪器制造；气体、液体分离及纯净设备制造；电力电子元器件制造；仪器仪表制造；电子测量仪器制造。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）^无

深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301

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