企业速览
企业名称:南京华易泰电子科技有限公司
所属区域:江苏省南京市
核心业务:半导体湿法工艺设备的研发、制造与销售
南京华易泰电子科技有限公司(以下简称“华易泰”)成立于2018年,位于南京江北新区,是一家专注于半导体湿法工艺领域的高新技术企业。公司已被认定为国家级专精特新“小巨人”企业,在半导体湿法清洗、刻蚀、去胶等环节提供核心装备及解决方案。
主营产品
华易泰主营产品包括单片湿法清洗设备、批式湿法清洗设备、湿法刻蚀设备、去胶设备等。其中,单片湿法清洗设备是公司核心产品,可用于晶圆制造过程中的颗粒去除、金属污染控制、光刻胶剥离等关键工序,覆盖12英寸及8英寸晶圆产线。
技术方向
公司技术聚焦于半导体湿法工艺的自动化、精密化与国产化。关键技术包括:
- 兆声波清洗技术:结合化学药液与高频振动实现纳米级颗粒高效去除;
- 药液循环与回收系统:降低化学品消耗,提升工艺稳定性与环保性;
- 多腔体集成控制:支持多品类药液切换与平行工艺,提升设备产能与良率。
华易泰在2022年发布了首台国产12英寸单片湿法清洗设备,标志着在先进制程领域实现突破。据公开信息,该设备已在部分头部晶圆代工及封测企业完成验证导入。
市场定位
华易泰定位为“半导体湿法设备国产替代供应商”,主要服务国内晶圆制造、先进封装及化合物半导体企业,客户覆盖华虹半导体、长电科技、华天科技等(公开信息)。公司依据下游客户需求提供定制化设备方案,尤其在成熟制程及特色工艺领域(如功率器件、MEMS、CIS等)形成差异化竞争。当前国内半导体湿法设备市场仍主要由日本DNS、东京电子等外资企业主导,华易泰凭借本土服务优势与快速响应能力,逐步在存量替代与新建产线中获取份额。
发展亮点
- 2023年入选国家级专精特新“小巨人”企业名单;
- 投资建设南京研发制造基地,扩充产能及研发实验室;
- 参与多项国家及行业标准制定,推动湿法设备国产化进程。
免责声明:本简报基于企业工商字段及公开信息整理,不构成投资建议。