企业速览
青岛天仁微纳科技有限责任公司成立于2015年，注册地址位于山东省青岛市，是一家专注于纳米压印光刻技术研发与产业化的高新技术企业，获评国家级专精特新"小巨人"企业。公司主营业务为纳米压印光刻设备、紫外固化压印光刻机及相关工艺解决方案的研发、生产与销售，产品覆盖微纳光学、半导体、生物芯片、AR/VR光波导等领域。
主营产品
- 纳米压印光刻设备：包括全自动纳米压印机、紫外压印光刻机、热压印设备等，支持从4英寸到8英寸晶圆级别的精密加工。
- 工艺解决方案：配套提供压印模板、抗蚀剂、脱模剂等耗材，以及完整的纳米压印工艺流程开发服务。
- 核心应用产品：面向AR衍射光波导、MEMS传感器、微透镜阵列、生物芯片等器件的规模化生产。
技术方向
公司核心技术为"无掩膜纳米压印光刻"与"紫外固化压印"工艺，致力于降低传统光刻在亚微米及纳米尺度上的成本与复杂度。重点技术突破包括：
- 高精度对准与套刻：通过自主研发的纳米压印对准系统，实现亚纳米级层间对准精度。
- 大面积均匀压印：采用压力分布控制与固化工艺优化，满足6英寸晶圆级均匀性要求。
- 高分辨率模具制备：自研电子束直写与干法刻蚀结合的模板制造工艺，支持线宽低至20纳米的图形转移。
- 量产稳定性：开发自动化上下料与在线检测模块，提升产线良率与节拍。
市场定位
天仁微纳聚焦高端微纳加工设备国产化，在半导体光刻领域填补国内空白。其纳米压印设备直接对标奥地利EVG、德国SUSS等国际厂商，但更侧重中小批量、定制化市场，尤其为科研院所、高校及创新型光学/传感器企业提供高性价比的绕道光刻方案。在AR衍射光波导这一新兴赛道，公司已进入头部企业供应链（公开信息），成为国内少数具备量产级纳米压印整机交付能力的供应商。公司还积极布局生物芯片、柔性电子等前沿领域，逐步从设备销售向"设备+工艺+服务"一体化转型。
完整工商信息中的"专精特新产品研发、生产与销售"正对应其在纳米压印光刻这一细分赛道的技术深耕。凭借核心专利群与终端客户验证，天仁微纳在国产替代浪潮中占据先发优势，未来有望成为全球纳米压印光刻领域的重要参与者。
免责声明：本简报基于企业工商字段及公开信息整理，不构成投资建议。